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    半導(dǎo)體行業(yè)凈化解決方案

    晶圓設(shè)備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營利潤。潔凈室的主要的問題是產(chǎn)品、工具、加工過程和氣味控制的污染。

    傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車間的整個(gè)天花板上布滿高效過濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今我公司生產(chǎn)的FFU 使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置,解決了繁復(fù)的安裝和性價(jià)比問題,是目前市場上一種安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組,為潔凈室輸送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。

     

    污染物

    來源

    引發(fā)問題

    解決方案

    粉塵

    空氣

    造成集成電路斷路、短路,影響成品率

    化學(xué)過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU

    NH3,NMP

    外氣

    “T-top“現(xiàn)象

    化學(xué)過濾模塊

     

     

    部分成交客戶

     

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