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高效過濾器的性能試驗(效率檢測和檢漏測試)標準

1高效過濾器的效率檢測

由前述可知。高效過濾器的效率檢測方法多種多樣，但歷經半個多世紀的發展和演變，目前影響較大、使用范圍較廣的有：DOP法、粒子計數法和最易穿透粒徑t(MPPS)法。

1．1 DOP法

DOP法特指熱生成(凝結法)DOP氣溶膠加光度計測量法。該法最先由美國提出：將DOP液體加熱成蒸氣，蒸

氣在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0．3“m左右的單分散相氣溶膠顆粒，霧狀DOP進入風道，后用光散射式光度計(Light—scattering photometer)檢測過濾器前后氣樣的濁度比來計算過濾器的過濾效率。

1．2粒子計數法

粒子計數法以粒子計數器作為檢測儀器，塵源采用單分散或多分散氣溶膠。多分散氣溶膠是通過噴霧法(冷生成)產生的，膠源有時也應用DOP粒子，與熱生成DOP粒子相比．它們的材料相同，但分散度和檢測方法均不相同，應加以區分。冷發生DOP氣溶膠加粒子計數器是目前最常用的粒子計數法組合方式。

1．3最易穿透粒徑(MPPs)法

最易穿透粒徑法也稱為計數掃描法．是目前國際上高效過濾器的主流試驗方法[al。它的基礎仍是粒子計數。只是測試塵源采用最易穿透粒徑的粒子。用大流量激光粒子計數器或凝結核計數器對過濾器的整個出風面進行掃描檢驗。這種方法不僅能測量過濾器的平均效率。還可以比較各點的局部效率(滲漏試驗)。

2高效過濾器的檢漏

要保證潔凈室的潔凈度級別。除了選取適當的過濾器外，還必須要求安裝的高效(超高效)過濾器無漏點，一只滲漏的過濾器會導致整個工程設計的失敗。因此。檢漏也是高效過濾器性能試驗中極其重要的一部分。國內外的相關標準也對此作出了專門的規定。高效過濾器的檢漏常采用冷發生DOP加計數掃描或光度計掃描。

2．1計數掃描

計數掃描采用的儀器是粒子計數器。測試值反映氣流中計徑粒子的計數濃度(粒／L)。掃描檢漏過程與效率測試中的MPPS法類似．因此可以允許通過掃描試驗數據計算效率，使效率試驗和掃描檢漏工作合而為一。計數掃描法靈敏度高，可適用于掃描ULPA過濾器。

2．2光度計掃描

光度計掃描采用的儀器是氣溶膠光度計．測試值反映氣體中顆粒物質的質量濃度(斗g，L)。相比于計數掃描法，光度計掃描的敏感度較低．不適用于效率高于99．999％的高效過濾器。

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